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压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  李朋志
caj(10011Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：154/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜  压电促动器  迟滞  模糊  运动控制  像差补偿  
Normalized point source sensitivity analysis of large sparse telescopes 期刊论文
Chinese Optics, 2019, 卷号: 12, 期号: 3, 页码: 567-574
作者:  Q.-C.An;  J.-X.Zhang;  F.Yang;  H.-C.Zhao;  H.-F.Cao
浏览  |  Adobe PDF(444Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：138/57  |  提交时间：2020/08/24
Tin compounds,Error analysis,Frequency domain analysis,Mirrors,Optical systems,Sensitivity analysis,Synthetic apertures,Telescopes  
光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 790-797
作者:  董世则;  郭抗;  李显凌;  陈华男;  张德福
caj(1307Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：386/120  |  提交时间：2018/04/09
光刻物镜  调节机构  狭缝柔性结构  刚度比  导向精度  
软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2810-2816
作者:  陈家华;  龚学鹏;  薛松;  卢启鹏;  彭忠琦;  宋源;  王依
caj(440Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：462/119  |  提交时间：2018/04/09
同步辐射  光发射电子显微镜(Peem)  X射线显微镜  Kb镜  结构设计  
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑;  张建国
caj(2036Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：534/129  |  提交时间：2018/04/09
集成电路  光刻  投影物镜  波像差  调节机构  主动光学  
Seeing metrology of large aperture mirror of telescope 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 10
作者:  Yang, F.;  Q.-C. An;  J. Zhang;  H.-C. Zhao;  P. Guo and H.-B. Jiang
浏览  |  Adobe PDF(595Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：381/111  |  提交时间：2018/06/13
KB mirror system of X-ray photo-emission electron microscope beamline 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11
作者:  Chen, J.-H.;  X.-P. Gong;  S. Xue;  Q.-P. Lu;  Z.-Q. Peng;  Y. Song and Y. Wang
浏览  |  Adobe PDF(576Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：291/91  |  提交时间：2018/06/08
狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者:  董世则
收藏  |  浏览/下载：218/0  |  提交时间：2017/09/17
狭缝柔性结构  光刻物镜  调节机构  导向精度  精度测试  
高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2016, 期号: 8, 页码: 1275-1281
作者:  尹志生;  李友如;  李佩玥;  郭抗;  李朋志
caj(904Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：298/126  |  提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪  六自由度位姿检测  误差补偿  齐次变换  
电容传感器线性度标定平台 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151
作者:  张德福;  葛川;  李显凌;  倪明阳;  郭抗
caj(1959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：288/91  |  提交时间：2017/09/17
电容传感器  线性度标定  标定平台  柔度矩阵