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| 哈特曼探测器的高精度调节机构 期刊论文 光学精密工程, 2015, 期号: 10, 页码: 2852-2859 作者: 李文杰; 穆全全; 王少鑫; 王海萍; 杨程亮; 曹召良; 宣丽 caj(443Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:305/98  |  提交时间:2016/07/06 哈特曼探测器 调节机构 曲柄滑块机构 直线驱动器 自准直仪 |
| 利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 279-284 作者: 赵阳; 王平; 史振广; 谷勇强; 刘春来; 门树东 caj(3398Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:276/106  |  提交时间:2016/07/06 几何光学 三叶像差 面形精修 条纹泽尼克多项式 |
| 光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计 期刊论文 光电工程, 2015, 期号: 06, 页码: 50-56 作者: 陈华男; 郭抗; 张玲花; 刘健; 尚红波 caj(1453Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:288/79  |  提交时间:2016/07/06 光刻投影物镜 X-y向柔性调节机构 减速机构 柔性铰链 |
| 高精度位移传感器线性度标定方法研究 期刊论文 仪器仪表学报, 2015, 期号: 05, 页码: 982-988 作者: 张德福; 葛川; 李显凌; 倪明阳; 郭抗; 李朋志 caj(686Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:332/88  |  提交时间:2016/07/06 传感器 标定 线性度 柔度矩阵 |
| 光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计 期刊论文 光子学报, 2015, 期号: 09, 页码: 35-39 作者: 张德福; 李显凌; 东立剑; 孙振 caj(2020Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:283/79  |  提交时间:2016/07/06 耦合误差 光刻 物镜 偏心调节机构 柔度矩阵法 |
| Compliance analysis for thinned right-circular flexure hinge with three degrees of freedom 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 页码: 425-431 作者: Guo, K.; M.-Y. Ni; Z. Sun; H.-N. Chen and D.-P. Wang 浏览  |  Adobe PDF(2146Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:286/71  |  提交时间:2016/08/24 |
| Linearity calibration method of the high-precision displacement sensor 期刊论文 Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 982-988 作者: Zhang, D.; C. Ge; X. Li; M. Ni; K. Guo and P. Li 浏览  |  Adobe PDF(823Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:293/109  |  提交时间:2016/08/24 |
| Mechanical error compensation algorithm for subaperture stitching interferometry 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 934-940 作者: Zhang, M.; Y.-X. Sui and H.-J. Yang 浏览  |  Adobe PDF(564Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:266/75  |  提交时间:2016/08/24 |
| 空间遥感器次镜多维调节装置的研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2015 作者: 崔鑫磊 Adobe PDF(3347Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:197/2  |  提交时间:2016/04/11 6-ups并联机构 次镜多维调节装置 运动学模型 动力学模型 误差 运动学参数辨识 |
| 菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2015 作者: 毛石磊 Adobe PDF(3933Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:314/2  |  提交时间:2016/04/11 菲索干涉仪 移相器 微位移 柔性铰链 压电陶瓷 |