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狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者:  董世则
收藏  |  浏览/下载：225/0  |  提交时间：2017/09/17
狭缝柔性结构  光刻物镜  调节机构  导向精度  精度测试  
高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2016, 期号: 8, 页码: 1275-1281
作者:  尹志生;  李友如;  李佩玥;  郭抗;  李朋志
caj(904Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：306/130  |  提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪  六自由度位姿检测  误差补偿  齐次变换  
电容传感器线性度标定平台 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151
作者:  张德福;  葛川;  李显凌;  倪明阳;  郭抗
caj(1959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：296/96  |  提交时间：2017/09/17
电容传感器  线性度标定  标定平台  柔度矩阵  
Structrual design of detector for optical elements with large aperture 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24
作者:  Huang, B.;  X.-L. Li and H.-Q. Yang
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Design of compliant micro-motion mechanism for linearity calibration of capacitive displacement sensors 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 6
作者:  Zhang, D.;  X. Li;  C. Ge;  M. Ni and K. Guo
浏览  |  Adobe PDF(4471Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：306/68  |  提交时间：2017/09/11
Linearity calibration platform of capacitive sensors 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1
作者:  Zhang, D.-F.;  C. Ge;  X.-L. Li;  M.-Y. Ni and K. Guo
浏览  |  Adobe PDF(2131Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：320/105  |  提交时间：2017/09/11
Effect of alignment errors of reticle on distortion in lithographic projection lens 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 3
作者:  Yang, W.;  W. Huang and H.-B. Shang
浏览  |  Adobe PDF(1721Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：280/79  |  提交时间：2017/09/11
Forward kinematics of 3-RRR flexure parallel mechanism used in lens micro-adjustment 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 6
作者:  Zhao, L.;  C. Liang;  D.-F. Zhang;  L.-J. Dong and H.-F. Peng
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