Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统 | |
陈家华; 龚学鹏 ; 薛松; 卢启鹏; 彭忠琦; 宋源; 王依
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| 2017-11-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 页码 | 2810-2816 |
| 摘要 | 研制了光发射电子显微镜(PEEM)高精度微聚焦系统,以实现上海光源软X射线PEEM光束线的高质量聚焦。根据上海光源PEEM光束线的概况,给出微聚焦系统光学元件的基本参数。基于Kirkpatrick-Baez(KB镜)两镜方案,设计了PEEM线微聚焦系统。介绍了KB镜姿态调整机构的设计方案,即利用三垂直线性驱动装置和两水平线性驱动装置相结合来实现五维调节,分析了姿态调节机构的原理与工作过程,给出了微聚焦系统的整体设计方案。测试了KB镜系统的机械性能,给出水平调节机构以及第一面镜子Pitch运动的测试结果,结果显示:水平调节机构分辨率为0.6μm,重复精度为0.85μm,Pitch角度分辨率为0.4″,重复精度为0.5″,优于指标要求。其它参数的测试结果亦均优于指标要求。实验表明,微聚焦系统机械指标的实现保证了PEEM线光斑的高质量聚焦。 |
| 关键词 | 同步辐射 光发射电子显微镜(Peem) X射线显微镜 Kb镜 结构设计 |
| DOI | A3057F6C1C7D9A3F0F2938EE056F2A17 |
| 语种 | 中文 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58599 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈家华,龚学鹏,薛松,等. 软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统[J]. 光学精密工程,2017:2810-2816. |
| APA | 陈家华.,龚学鹏.,薛松.,卢启鹏.,彭忠琦.,...&王依.(2017).软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统.光学精密工程,2810-2816. |
| MLA | 陈家华,et al."软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统".光学精密工程 (2017):2810-2816. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB（440KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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