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光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 790-797
作者:  董世则;  郭抗;  李显凌;  陈华男;  张德福
caj(1307Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：401/122  |  提交时间：2018/04/09
光刻物镜  调节机构  狭缝柔性结构  刚度比  导向精度  
软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2810-2816
作者:  陈家华;  龚学鹏;  薛松;  卢启鹏;  彭忠琦;  宋源;  王依
caj(440Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：465/121  |  提交时间：2018/04/09
同步辐射  光发射电子显微镜(Peem)  X射线显微镜  Kb镜  结构设计  
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑;  张建国
caj(2036Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：565/133  |  提交时间：2018/04/09
集成电路  光刻  投影物镜  波像差  调节机构  主动光学  
Seeing metrology of large aperture mirror of telescope 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 10
作者:  Yang, F.;  Q.-C. An;  J. Zhang;  H.-C. Zhao;  P. Guo and H.-B. Jiang
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KB mirror system of X-ray photo-emission electron microscope beamline 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11
作者:  Chen, J.-H.;  X.-P. Gong;  S. Xue;  Q.-P. Lu;  Z.-Q. Peng;  Y. Song and Y. Wang
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