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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
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光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| 双光子光片显微镜的液晶自适应光学成像研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张财华
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液晶自适应光学 双光子光片荧光显微镜 大视场活体成像 |
| 基于自由曲面的超短焦投影物镜关键技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 于百华
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超短焦投影 自由曲面 光学设计 |
| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 赵磊
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投影光刻物镜 像质补偿技术 柔顺微动机构 主动变形镜 |
| 压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 李朋志
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光刻物镜 压电促动器 迟滞 模糊 运动控制 像差补偿 |
| 仿生复眼系统的子眼安装孔对准误差检测方法 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 04, 页码: 881-888
作者: 张广; 王新华; 李大禹
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仿生复眼 大视场 高分辨率 自准直 对准误差 |
| 偏振光谱识别光学系统的复原方法与设计 期刊论文
红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 05, 页码: 268-275
作者: 穆竺; 王加科; 吴从均; 颜昌翔; 刘智颖
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光学设计 偏振光谱复原 强度调制 光谱系统 傅里叶变换 |
| 光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 790-797
作者: 董世则; 郭抗; 李显凌; 陈华男; 张德福
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光刻物镜 调节机构 狭缝柔性结构 刚度比 导向精度 |
| 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者: 张德福; 李显凌; 芮大为; 李朋志; 东立剑; 张建国
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集成电路 光刻 投影物镜 波像差 调节机构 主动光学 |
| 大偏离度非球面检测畸变校正方法 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 383-390
作者: 高松涛; 武东城; 苗二龙
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计算全息图 Cgh 畸变 非球面检测 |
