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运放对压电陶瓷驱动电路系统精度影响的研究 期刊论文
电子测量技术, 2014, 期号: 10, 页码: 33-36
作者:  王学亮;  李佩玥;  郑楠;  崔洋
caj(422Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：403/101  |  提交时间：2015/04/17
光刻物镜  压电陶瓷  驱动电路  误差分析  亚微米  
Open-closed loop iterative learning control of piezoelectric actuators 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2014, 卷号: 22, 期号: 2, 页码: 414-419
作者:  Li P.-Z.;  Yan F.;  Ge C.;  Li P.-Y.;  Sui Y.-X.;  Yang H.-J.
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