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仿生复眼系统的子眼安装孔对准误差检测方法 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 04, 页码: 881-888
作者:  张广;  王新华;  李大禹
caj(378Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:104/25  |  提交时间:2020/08/24
仿生复眼  大视场  高分辨率  自准直  对准误差  
偏振光谱识别光学系统的复原方法与设计 期刊论文
红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 05, 页码: 268-275
作者:  穆竺;  王加科;  吴从均;  颜昌翔;  刘智颖
caj(2679Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:100/38  |  提交时间:2020/08/24
光学设计  偏振光谱复原  强度调制  光谱系统  傅里叶变换  
光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 790-797
作者:  董世则;  郭抗;  李显凌;  陈华男;  张德福
caj(1307Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:400/122  |  提交时间:2018/04/09
光刻物镜  调节机构  狭缝柔性结构  刚度比  导向精度  
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑;  张建国
caj(2036Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:564/133  |  提交时间:2018/04/09
集成电路  光刻  投影物镜  波像差  调节机构  主动光学  
大偏离度非球面检测畸变校正方法 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 383-390
作者:  高松涛;  武东城;  苗二龙
caj(539Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:407/132  |  提交时间:2018/04/09
计算全息图  Cgh  畸变  非球面检测  
高衍射效率衍射望远镜系统的设计/加工及成像性能测试 期刊论文
光子学报, 2017, 页码: 120-128
作者:  王若秋;  张志宇;  国成立;  薛栋林;  张学军;  刘华
caj(1767Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:384/117  |  提交时间:2018/04/09
光学设计  空间望远镜  衍射元件  衍射效率  成像性能  
光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者:  东立剑;  崔庆龙;  李朋志;  赵磊
caj(3959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:334/88  |  提交时间:2018/04/09
光学设计  光刻物镜  热像差  主动光学  像散  响应函数  
激光测振用可调扩束聚焦镜设计 期刊论文
激光与光电子学进展, 2017, 页码: 1-8
作者:  武俊峰;  舒风风;  吴一辉
caj(465Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:399/95  |  提交时间:2018/04/09
激光器与激光光学  扩束聚焦镜  高斯光束  不旋转调焦。  
Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者:  Dong, L.;  Q. Cui;  P. Li and L. Zhao
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Super-resolution reconstruction of infrared images based on micro-scanner 期刊论文
Jilin Daxue Xuebao (Gongxueban)/Journal of Jilin University (Engineering and Technology Edition), 2017, 卷号: 47, 期号: 1
作者:  Wang, X.-H.;  J.-H. Ouyang;  G. Zhang and Y. He
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