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浸没式光刻投影物镜光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764
作者:  毕丹丹;  张立超;  时光
收藏  |  浏览/下载：188/0  |  提交时间：2019/09/17
浸没式光刻  光学薄膜  膜系设计  环境适应性  激光辐照寿命  
浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究 学位论文
硕士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  毕丹丹
caj(4243Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：206/0  |  提交时间：2019/09/23
光学薄膜  浸没式光刻  大角度保偏膜系  浸液环境寿命  激光辐照寿命  
Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
浏览  |  Adobe PDF(2727Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：269/107  |  提交时间：2019/09/17
Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
Optical design of high-numerical aperture lithographic lenses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 4
作者:  Xu, M.-F.;  W.-B. Pang;  X.-R. Xu;  X.-H. Wang and W. Huang
浏览  |  Adobe PDF(487Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：308/78  |  提交时间：2017/09/11
胶层厚度对三点支撑反射镜面形的影响 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 07, 页码: 2005-2012
作者:  贾树强;  黄玮;  庞武斌
caj(866Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：238/109  |  提交时间：2016/07/06
光机系统  反射镜  三点支撑  表面面形  胶层  有限元模型  
Extreme ultraviolet lithography objective design based on grouping and graphical user interface 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 12
作者:  Wang, J.;  L. Wang;  C. Jin;  L. Miao and Y. Xie
浏览  |  Adobe PDF(4381Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：232/81  |  提交时间：2016/08/24
深紫外光学薄膜激光辐照特性研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  赵灵
Adobe PDF(3284Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：393/1  |  提交时间：2015/05/03
深紫外  光学薄膜  吸收  激光量热法  
P偏振ArF准分子激光大角度减反射薄膜的研究与制备 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  靳京城
Adobe PDF(2780Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：344/2  |  提交时间：2014/08/21