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深紫外光刻投影物镜温度特性研究 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285
作者:  姚长呈;  巩岩
caj(1486Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：334/129  |  提交时间：2017/09/17
光学制造  光刻投影物镜  温度分布模型  仿真分析  热像差  
调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 291-298
作者:  张德福;  李显凌
caj(743Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：417/84  |  提交时间：2015/04/17
光学器件  深紫外光刻  投影物镜  像差补偿  偏心调节机构  调节力  面形  
193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 08, 页码: 227-232
作者:  田伟;  王平;  王汝冬;  王立朋;  隋永新
caj(724Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：503/136  |  提交时间：2013/03/11
应用光学  193nm光刻  运动学支撑  光学检测  有限元法  
点衍射干涉仪基准波前测试技术研究 期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 5, 页码: 0508003-1-6
作者:  马冬梅
Adobe PDF(462Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：624/226  |  提交时间：2012/05/11
用于光刻投影物镜检测的高精度菲佐干涉仪误差分析 期刊论文
中国激光, 2010, 卷号: 37, 期号: 8, 页码: 2029-2034
作者:  苗二龙;  谷永强;  康玉思;  刘伟奇
caj(268Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：323/65  |  提交时间：2012/09/25