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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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发表日期:2018
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浸没式光刻投影物镜光学薄膜
期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764
作者:
毕丹丹
;
张立超
;
时光
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提交时间:2019/09/17
浸没式光刻
光学薄膜
膜系设计
环境适应性
激光辐照寿命
浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究
学位论文
硕士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
毕丹丹
caj(4243Kb)
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提交时间:2019/09/23
光学薄膜
浸没式光刻
大角度保偏膜系
浸液环境寿命
激光辐照寿命
Optical coatings for projection objective immersion lithography
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:
Bi, Dan-Dan
;
Zhang, Li-Chao
;
Shi, Guang
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浏览/下载:274/109
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提交时间:2019/09/17
Optical films
Integrated circuit manufacture
Irradiation
Lithography
Optical coatings
Optical systems
Study on High Precision Magnification Measurement of Imaging Systems
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2018, 卷号: 38, 期号: 7
作者:
Dong, Guanji
;
Tang, Feng
;
Wang, Xiangzhao
;
Feng, Peng
;
Guo, Fudong
;
Peng, Changzhe
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提交时间:2019/09/17
Interferometry
CCD cameras
Diffraction
Imaging systems
Measurement
Uncertainty analysis
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:
Fang, Chao
;
Xiang, Yang
;
Qi, Keqi
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提交时间:2019/09/17
Aberrations
Crosstalk
Interferometry
Measurement
Photolithography
Shearing
Wave interference
Wavefronts
成像系统倍率高精度测量技术研究
期刊论文
光学学报, 2018, 期号: 07, 页码: 167-176
作者:
董冠极
;
唐锋
;
王向朝
;
冯鹏
;
郭福东
;
彭常哲
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提交时间:2019/09/17
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倍率
Zernike多项式
点衍射干涉法