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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 张璐
caj(6271Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:235/0  |  提交时间:2020/08/24 光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| 短相干菲索型动态干涉仪的关键技术研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 樊孝贺
caj(4313Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:193/0  |  提交时间:2020/08/24 短相干 菲索型 动态干涉仪 条纹图配准 相位解包裹 误差补偿 |
| 面向光子集成应用的有源半导体器件的设计和研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 邱橙
caj(11219Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:194/0  |  提交时间:2020/08/24 光子集成 光纤通讯 边发射半导体激光器、有源多模干涉波导 分布反馈半导体激光器 |
| 中阶梯光栅拼接及复制技术研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 丛敏
caj(6456Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:142/0  |  提交时间:2020/08/24 光栅拼接 中阶梯光栅 拼接误差 干涉法 误差分析 |
| 基于多级微反射镜的时空联合调制傅里叶变换成像光谱仪:原理及数据处理(英文) 期刊论文 光谱学与光谱分析, 2017, 页码: 3932-3939 作者: 高健华; 梁静秋 ; 吕金光 ; 梁中翥 ; 秦余欣 ; 王维彪
caj(358Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:542/127  |  提交时间:2018/04/09 傅里叶变换成像光谱仪 干涉图拼接 光谱复原 图像拼接 |
| 支撑刚度对激光干涉测量噪声的影响研究 期刊论文 江苏科技信息, 2017, 页码: 35-37 作者: 缑旭; 张永凯 ; 彭石军 ; 田伟![](/image/person.jpg)
caj(277Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:247/108  |  提交时间:2018/04/09 刚度 位移测量 噪声 激光干涉 移相器 |
| 基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 期刊论文 中国光学, 2017, 页码: 39-50 作者: 吕强; 李文昊; 巴音贺希格; 柏杨; 刘兆武; 王玮
caj(407Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:444/126  |  提交时间:2018/04/09 位移测量 光栅 衍射干涉 高精度 |
| 移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 233-240 作者: 宋莹; 赵旭龙; 姜岩秀; 巴音贺希格; 齐向东
caj(373Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:452/135  |  提交时间:2018/04/09 全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹 |
| 扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 166-175 作者: 王玮; 姜珊; 宋莹; 巴音贺希格
caj(4189Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:404/162  |  提交时间:2018/04/09 光栅 扫描干涉场曝光系统 高斯光束 光斑尺寸 光路设计 |
| 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文 光学学报, 2017, 页码: 247-256 作者: 王玮; 巴音贺希格; 潘明忠; 宋莹; 李文昊
caj(798Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:341/115  |  提交时间:2018/04/09 光学设计 光栅 扫描干涉场曝光 光束对准 曝光对比度 位置解耦 角度解耦 |