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支撑刚度对激光干涉测量噪声的影响研究 期刊论文
江苏科技信息, 2017, 页码: 35-37
作者:  缑旭;  张永凯;  彭石军;  田伟
caj(277Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：227/101  |  提交时间：2018/04/09
刚度  位移测量  噪声  激光干涉  移相器