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支撑刚度对激光干涉测量噪声的影响研究
缑旭; 张永凯; 彭石军; 田伟
2017-08-20
发表期刊江苏科技信息
页码35-37
摘要激光干涉测量技术使用范围广,测量快速高效,在精密位移测量中具有非常大的使用空间。测量噪声是干扰激光测量准确性的重要因素,文章以干涉仪移相器为例,分析了支撑刚度对激光测量噪声的影响关系。结果表明在更换刚性较好的支撑零件下可以改善噪声影响,使测量系统噪声从之前的±6.5 nm降为±3.5 nm,对于提高位移测量准确性具有较大的意义。
关键词刚度 位移测量 噪声 激光干涉 移相器
DOI3327DCBB28C2D0EF12FC3AD7CCD0B9D7
语种中文
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文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58663
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
缑旭,张永凯,彭石军,等. 支撑刚度对激光干涉测量噪声的影响研究[J]. 江苏科技信息,2017:35-37.
APA 缑旭,张永凯,彭石军,&田伟.(2017).支撑刚度对激光干涉测量噪声的影响研究.江苏科技信息,35-37.
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