Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 支撑刚度对激光干涉测量噪声的影响研究 | |
缑旭; 张永凯 ; 彭石军; 田伟
| |
| 2017-08-20 | |
| 发表期刊 | 江苏科技信息
 |
| 页码 | 35-37 |
| 摘要 | 激光干涉测量技术使用范围广,测量快速高效,在精密位移测量中具有非常大的使用空间。测量噪声是干扰激光测量准确性的重要因素,文章以干涉仪移相器为例,分析了支撑刚度对激光测量噪声的影响关系。结果表明在更换刚性较好的支撑零件下可以改善噪声影响,使测量系统噪声从之前的±6.5 nm降为±3.5 nm,对于提高位移测量准确性具有较大的意义。 |
| 关键词 | 刚度 位移测量 噪声 激光干涉 移相器 |
| DOI | 3327DCBB28C2D0EF12FC3AD7CCD0B9D7 |
| 语种 | 中文 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58663 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 缑旭,张永凯,彭石军,等. 支撑刚度对激光干涉测量噪声的影响研究[J]. 江苏科技信息,2017:35-37. |
| APA | 缑旭,张永凯,彭石军,&田伟.(2017).支撑刚度对激光干涉测量噪声的影响研究.江苏科技信息,35-37. |
| MLA | 缑旭,et al."支撑刚度对激光干涉测量噪声的影响研究".江苏科技信息 (2017):35-37. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 支撑刚度对激光干涉测量噪声的影响研究.c（277KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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