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| 深紫外光刻投影物镜温度特性研究 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285 作者: 姚长呈; 巩岩 caj(1486Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:348/134  |  提交时间:2017/09/17 光学制造 光刻投影物镜 温度分布模型 仿真分析 热像差 |
| 基于夫琅禾费原理的光栅复制拼接误差精度分析 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 224-231 作者: 卢禹先; 齐向东; 于海利; 李晓天; 张善文; 姜珊; 尹禄 caj(1457Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:364/103  |  提交时间:2017/09/17 衍射 拼接精度 夫琅禾费原理 复制拼接技术 |
| 长焦距同离轴混合式三反光学系统 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 245-250 作者: 陈哲; 张星祥; 陈长征; 任建岳 caj(1239Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:345/112  |  提交时间:2017/09/17 光学设计 同离轴混合 三反光学系统 像质评价 调制传递函数 |
| 极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166 作者: 喻波; 李春; 金春水; 王春忠 收藏  |  浏览/下载:252/0  |  提交时间:2017/09/17 薄膜 极紫外光刻 宽带多层膜 Mo/si多层膜 |
| 绝对辐射计一次反射不等效的影响及实验分析 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 186-192 作者: 唐潇; 方伟; 王玉鹏 caj(1120Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:309/117  |  提交时间:2017/09/17 测量 太阳总辐照度 有限元单元法 光电不等效性 世界辐射标准 |
| 斜入射下液晶空间光调制器纯相位调制特性研究 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 1, 页码: 190-196 作者: 鲁强; 盛磊; 张鑫; 白继清; 乔彦峰 caj(3643Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:341/114  |  提交时间:2017/09/17 光学器件 液晶空间光调制器 纯相位调制 斜入射 相位调制特性 |
| 中高轨道空间详查相机光学设计 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 1, 页码: 236-244 作者: 王蕴琦; 刘伟奇; 付瀚毅; 张大亮; 魏忠伦; 冯睿 caj(4043Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:439/116  |  提交时间:2017/09/17 光学设计 空间光学 详查相机 全反射系统 四反系统 |
| 基于硅基液晶实现激光投影显示系统匀光整形和散斑抑制 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 20-26 作者: 梁传样; 张巍; 芮大为; 隋永新; 杨怀江 caj(1669Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:377/123  |  提交时间:2017/09/17 激光光学 衍射光学 散斑抑制 空间光调制器 衍射光学元件 激光投影显示 |
| 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文 中国激光, 2016, 页码: 231-236 作者: 刘兆武; 李文昊; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 李晓天; 吕强 caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:286/74  |  提交时间:2018/04/09 测量 光检测技术 二维工作台 测量镜面形 光栅 激光干涉仪 |
| TEA CO_2激光器放电区气流均匀性对激光输出的影响 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 7, 页码: 46-53 作者: 邵明振; 邵春雷; 陈飞; 潘其坤 caj(1219Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:317/118  |  提交时间:2017/09/17 激光器 横向激励大气压co2激光器 气体均匀性 计算流体动力学 输出能量 注入能量 发散角 |