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深紫外光刻投影物镜温度特性研究 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285
作者:  姚长呈;  巩岩
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光学制造  光刻投影物镜  温度分布模型  仿真分析  热像差  
基于夫琅禾费原理的光栅复制拼接误差精度分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 224-231
作者:  卢禹先;  齐向东;  于海利;  李晓天;  张善文;  姜珊;  尹禄
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衍射  拼接精度  夫琅禾费原理  复制拼接技术  
长焦距同离轴混合式三反光学系统 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 245-250
作者:  陈哲;  张星祥;  陈长征;  任建岳
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光学设计  同离轴混合  三反光学系统  像质评价  调制传递函数  
极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠
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薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/si多层膜  
绝对辐射计一次反射不等效的影响及实验分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 186-192
作者:  唐潇;  方伟;  王玉鹏
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测量  太阳总辐照度  有限元单元法  光电不等效性  世界辐射标准  
斜入射下液晶空间光调制器纯相位调制特性研究 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 1, 页码: 190-196
作者:  鲁强;  盛磊;  张鑫;  白继清;  乔彦峰
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光学器件  液晶空间光调制器  纯相位调制  斜入射  相位调制特性  
中高轨道空间详查相机光学设计 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 1, 页码: 236-244
作者:  王蕴琦;  刘伟奇;  付瀚毅;  张大亮;  魏忠伦;  冯睿
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光学设计  空间光学  详查相机  全反射系统  四反系统  
基于硅基液晶实现激光投影显示系统匀光整形和散斑抑制 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 20-26
作者:  梁传样;  张巍;  芮大为;  隋永新;  杨怀江
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激光光学  衍射光学  散斑抑制  空间光调制器  衍射光学元件  激光投影显示  
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  李晓天;  吕强
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测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪  
TEA CO_2激光器放电区气流均匀性对激光输出的影响 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 7, 页码: 46-53
作者:  邵明振;  邵春雷;  陈飞;  潘其坤
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激光器  横向激励大气压co2激光器  气体均匀性  计算流体动力学  输出能量  注入能量  发散角