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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
 caj(6271Kb) |  收藏 | 浏览/下载：235/0 | 提交时间：2020/08/24
光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| 短相干菲索型动态干涉仪的关键技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 樊孝贺
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短相干 菲索型 动态干涉仪 条纹图配准 相位解包裹 误差补偿 |
| 面向光子集成应用的有源半导体器件的设计和研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 邱橙
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光子集成 光纤通讯 边发射半导体激光器、有源多模干涉波导 分布反馈半导体激光器 |
| 中阶梯光栅拼接及复制技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 丛敏
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光栅拼接 中阶梯光栅 拼接误差 干涉法 误差分析 |
| 基于多级微反射镜的时空联合调制傅里叶变换成像光谱仪:原理及数据处理（英文） 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2017, 页码: 3932-3939
作者: 高健华; 梁静秋 ; 吕金光; 梁中翥; 秦余欣; 王维彪
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傅里叶变换成像光谱仪 干涉图拼接 光谱复原 图像拼接 |
| 支撑刚度对激光干涉测量噪声的影响研究 期刊论文
江苏科技信息, 2017, 页码: 35-37
作者: 缑旭; 张永凯; 彭石军; 田伟
caj(277Kb) | 收藏 | 浏览/下载：247/108 | 提交时间：2018/04/09
刚度 位移测量 噪声 激光干涉 移相器 |
| 基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 39-50
作者: 吕强; 李文昊; 巴音贺希格; 柏杨; 刘兆武; 王玮
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位移测量 光栅 衍射干涉 高精度 |
| 移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 233-240
作者: 宋莹; 赵旭龙; 姜岩秀; 巴音贺希格; 齐向东
caj(373Kb) | 收藏 | 浏览/下载：452/135 | 提交时间：2018/04/09
全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹 |
| 扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者: 王玮; 姜珊; 宋莹; 巴音贺希格
caj(4189Kb) | 收藏 | 浏览/下载：404/162 | 提交时间：2018/04/09
光栅 扫描干涉场曝光系统 高斯光束 光斑尺寸 光路设计 |
| 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者: 王玮; 巴音贺希格; 潘明忠; 宋莹; 李文昊
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光学设计 光栅 扫描干涉场曝光 光束对准 曝光对比度 位置解耦 角度解耦 |
