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| Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者: 孙诗壮; 金春水 ; 喻波; 郭涛; 姚舜; 李春; 邓文渊
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薄膜 Mo/Si多层膜 极紫外光刻 磁控溅射 表面粗糙度 功率谱密度 |
| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
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光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 赵磊
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投影光刻物镜 像质补偿技术 柔顺微动机构 主动变形镜 |
| 压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 李朋志
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光刻物镜 压电促动器 迟滞 模糊 运动控制 像差补偿 |
| 自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边缘 期刊论文
光子学报, 2019, 卷号: 48, 期号: 04, 页码: 71-79
作者: 孙彦杰; 刘华; 李金环; 陆子凤; 张莹; 罗钧
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数字微镜阵列 扫描光刻 自由曲面光学透镜 成像线性错位 图形边缘 投影成像系统 |
| 浸没式光刻投影物镜光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764
作者: 毕丹丹; 张立超; 时光
收藏 | 浏览/下载：256/0 | 提交时间：2019/09/17
浸没式光刻 光学薄膜 膜系设计 环境适应性 激光辐照寿命 |
| 浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究 学位论文
硕士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 毕丹丹
caj(4243Kb) | 收藏 | 浏览/下载：277/0 | 提交时间：2019/09/23
光学薄膜 浸没式光刻 大角度保偏膜系 浸液环境寿命 激光辐照寿命 |
| 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者: 张璐; 向阳
收藏 | 浏览/下载：284/0 | 提交时间：2019/09/17
测量 光刻镜头 绝对检测 光栅横向剪切干涉仪 系统波像差 |
| 投影光刻物镜偏振像差研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 周泽龙
caj(5354Kb) | 收藏 | 浏览/下载：313/0 | 提交时间：2019/09/23
投影光刻物镜 偏振像差 琼斯矩阵 穆勒矩阵 |
| 光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 790-797
作者: 董世则; 郭抗; 李显凌; 陈华男; 张德福
caj(1307Kb) | 收藏 | 浏览/下载：464/145 | 提交时间：2018/04/09
光刻物镜 调节机构 狭缝柔性结构 刚度比 导向精度 |
