Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边缘 | |
孙彦杰; 刘华 ; 李金环; 陆子凤; 张莹; 罗钧
| |
| 2019 | |
| 发表期刊 | 光子学报
 |
| 卷号 | 48期号:04页码:71-79 |
| 摘要 | 数字微镜阵列扫描曝光图形在某些方向的边缘存在约一个像素的锯齿,对此设计自由曲面光学透镜,将其安装在距离数字微镜阵列窗口玻璃1mm附近,使微镜阵列成像线性错位,在保持原有线宽和光刻效率的情况下,平滑曝光图形边缘.理论分析了微镜阵列成像线性错位形式及其表达式.根据物像映射原理,用Matlab软件计算出自由曲面光学透镜面形初始数据,通过Zemax软件优化得到理想透镜模型,模拟了安装该透镜模型前后曝光图形效果.结果表明:在±2μm容差范围内,安装该透镜且曝光总能量为原来的0.9倍时,曝光图形的横线边缘锯齿由0.14个像素缩小至0～0.01个像素,斜线边缘锯齿由0.338个像素缩小至0.110～0.125个像素,且线长变化范围为-0.153～0.05个像素,线宽变化范围为-0.058～0.153个像素,变形范围不影响10～30μm pcb板的制作精度.该方法可同时提高能量利用率,降低光源成本. |
| 关键词 | 数字微镜阵列 扫描光刻 自由曲面光学透镜 成像线性错位 图形边缘 投影成像系统 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/63762 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙彦杰,刘华,李金环,等. 自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边缘[J]. 光子学报,2019,48(04):71-79. |
| APA | 孙彦杰,刘华,李金环,陆子凤,张莹,&罗钧.(2019).自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边缘.光子学报,48(04),71-79. |
| MLA | 孙彦杰,et al."自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边缘".光子学报 48.04(2019):71-79. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边（4828KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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