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光学技术数据库对光学设计软件的支持 期刊论文
中国科技资源导刊, 2022, 卷号: 54, 期号: 01, 页码: 66-75
作者:  娄洪伟;  周影;  吴昊轩;  盛磊
Adobe PDF(2508Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：56/29  |  提交时间：2023/05/18
光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者:  张璐;  向阳
收藏  |  浏览/下载：179/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  光刻镜头  绝对检测  光栅横向剪切干涉仪  系统波像差  
Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 8
作者:  Zhang, Lu;  Xiang, Yang
Adobe PDF(685Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：250/102  |  提交时间：2019/09/17
Shearing  Aberrations  Errors  Interferometers  Measurement  Wavefronts  
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:  Fang, Chao;  Xiang, Yang;  Qi, Keqi
Adobe PDF(403Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：253/97  |  提交时间：2019/09/17
Aberrations  Crosstalk  Interferometry  Measurement  Photolithography  Shearing  Wave interference  Wavefronts  
基于镜面间隔和中心偏差测量的光学镜头辅助装调设备的研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  郭帮辉
Adobe PDF(3271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：543/2  |  提交时间：2014/08/21
十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
作者:  方超;  向阳
caj(603Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：338/86  |  提交时间：2015/04/17
测量  横向剪切干涉仪  相移算法  相位复原  
旋转支撑法去除元件面形测量的夹持误差 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 8, 页码: 0812004-1
作者:  王平;  田伟;  王汝冬;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(1572Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：535/175  |  提交时间：2012/05/11
大口径光学元件重力变形补偿的设计分析 期刊论文
中国光学, 2011, 卷号: 4, 期号: 3, 页码: 259-263
作者:  王汝冬;  王平;  田伟;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(393Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：364/120  |  提交时间：2012/05/11
300mm平面标准镜装卡结构的关键参数 期刊论文
中国光学, 2011, 卷号: 4, 期号: 3, 页码: 283-292
作者:  田伟;  王汝冬;  王平;  隋永新;  王立朋
Adobe PDF(659Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：396/118  |  提交时间：2012/05/11