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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知... [13]
作者
杨海贵 [5]
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基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制
期刊论文
光子学报, 2018, 期号: 04, 页码: 52-60
作者:
匡尚奇
;
张超
;
李硕
;
杨海贵
;
霍同林
;
周洪军
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浏览/下载:251/0
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提交时间:2019/09/17
光学多层膜
膜系设计
量子遗传算法
宽带极紫外多层膜
离散化设计
Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:
Kuang, Shang-Qi
;
Li, Shuo
;
Yang, Hai-Gui
;
Huo, Tong-Lin
;
Zhou, Hong-Jun
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浏览/下载:658/202
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提交时间:2019/09/17
Multilayers
Extreme ultraviolet lithography
Fabrication
Mirrors
Reflection
Design and Fabrication of Broadband Discrete Extreme-ultraviolet Multilayer Based on Quantum State Genetic Algorithm
期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2018, 卷号: 47, 期号: 4
作者:
Kuang, Shang-Qi
;
Zhang, Chao
;
Li, Shuo
;
Yang, Hai-Gui
;
Huo, Tong-Lin
;
Zhou, Hong-Jun
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浏览/下载:619/139
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提交时间:2019/09/17
Quantum theory
Fabrication
Genetic algorithms
Magnetron sputtering
Multilayers
Reflection
基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征
期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2018, 期号: 04, 页码: 20-24+30
作者:
王一名
;
张超
;
孙秀平
;
匡尚奇
;
杨海贵
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浏览/下载:399/0
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提交时间:2019/09/17
薄膜光学
薄膜表征
掠入射X射线反射
云模型量子进化算法
极紫外多层膜
单层膜
极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备
期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:
匡尚奇
;
李硕
;
杨海贵
;
霍同林
;
周洪军
收藏
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浏览/下载:196/0
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提交时间:2019/09/17
多层膜设计
极紫外
离散化设计
宽带多层膜
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用
期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者:
匡尚奇
;
张超
;
王一名
;
周祥燕
;
谢耀
caj(654Kb)
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浏览/下载:460/130
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提交时间:2018/04/09
薄膜光学
多层膜设计
改进型量子进化算法
宽带极紫外多层膜
基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析
期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 137-144
作者:
周祥燕
;
张超
;
匡尚奇
;
龚学鹏
;
杨海贵
caj(2225Kb)
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浏览/下载:425/150
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提交时间:2018/04/09
薄膜
薄膜表征
量子衍生遗传算法
掠入射x射线反射
基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计
期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 347-355
作者:
张超
;
张杰瑞
;
王一名
;
匡尚奇
;
谢耀
caj(892Kb)
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浏览/下载:455/168
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提交时间:2018/04/09
薄膜
多层膜设计
量子进化算法
宽角度极紫外多层膜
量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用
期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4
作者:
梅雪峰
;
匡尚奇
;
谢耀
caj(1233Kb)
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浏览/下载:433/234
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提交时间:2017/09/17
Euv多层膜
量子进化算法
膜系设计
极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418
作者:
王珣
;
金春水
;
李春
;
匡尚奇
caj(1793Kb)
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浏览/下载:347/128
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提交时间:2016/07/06
薄膜
极紫外保护层
直流反应磁控溅射
迟滞回线