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基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制 期刊论文
光子学报, 2018, 期号: 04, 页码: 52-60
作者:  匡尚奇;  张超;  李硕;  杨海贵;  霍同林;  周洪军
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光学多层膜  膜系设计  量子遗传算法  宽带极紫外多层膜  离散化设计  
Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:  Kuang, Shang-Qi;  Li, Shuo;  Yang, Hai-Gui;  Huo, Tong-Lin;  Zhou, Hong-Jun
Adobe PDF(985Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：343/115  |  提交时间：2019/09/17
Multilayers  Extreme ultraviolet lithography  Fabrication  Mirrors  Reflection  
Design and Fabrication of Broadband Discrete Extreme-ultraviolet Multilayer Based on Quantum State Genetic Algorithm 期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2018, 卷号: 47, 期号: 4
作者:  Kuang, Shang-Qi;  Zhang, Chao;  Li, Shuo;  Yang, Hai-Gui;  Huo, Tong-Lin;  Zhou, Hong-Jun
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Quantum theory  Fabrication  Genetic algorithms  Magnetron sputtering  Multilayers  Reflection  
基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2018, 期号: 04, 页码: 20-24+30
作者:  王一名;  张超;  孙秀平;  匡尚奇;  杨海贵
收藏  |  浏览/下载：189/0  |  提交时间：2019/09/17
薄膜光学  薄膜表征  掠入射X射线反射  云模型量子进化算法  极紫外多层膜  单层膜  
极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:  匡尚奇;  李硕;  杨海贵;  霍同林;  周洪军
收藏  |  浏览/下载：172/0  |  提交时间：2019/09/17
多层膜设计  极紫外  离散化设计  宽带多层膜  
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者:  匡尚奇;  张超;  王一名;  周祥燕;  谢耀
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薄膜光学  多层膜设计  改进型量子进化算法  宽带极紫外多层膜  
基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 137-144
作者:  周祥燕;  张超;  匡尚奇;  龚学鹏;  杨海贵
caj(2225Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：352/124  |  提交时间：2018/04/09
薄膜  薄膜表征  量子衍生遗传算法  掠入射x射线反射  
基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 347-355
作者:  张超;  张杰瑞;  王一名;  匡尚奇;  谢耀
caj(892Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：369/122  |  提交时间：2018/04/09
薄膜  多层膜设计  量子进化算法  宽角度极紫外多层膜  
量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4
作者:  梅雪峰;  匡尚奇;  谢耀
caj(1233Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：339/163  |  提交时间：2017/09/17
Euv多层膜  量子进化算法  膜系设计  
极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418
作者:  王珣;  金春水;  李春;  匡尚奇
caj(1793Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：272/106  |  提交时间：2016/07/06
薄膜  极紫外保护层  直流反应磁控溅射  迟滞回线