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| 基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制 期刊论文
光子学报, 2018, 期号: 04, 页码: 52-60
作者: 匡尚奇; 张超; 李硕; 杨海贵 ; 霍同林; 周洪军
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光学多层膜 膜系设计 量子遗传算法 宽带极紫外多层膜 离散化设计 |
| 基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2018, 期号: 04, 页码: 20-24+30
作者: 王一名; 张超; 孙秀平; 匡尚奇; 杨海贵
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薄膜光学 薄膜表征 掠入射X射线反射 云模型量子进化算法 极紫外多层膜 单层膜 |
| 极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者: 匡尚奇; 李硕; 杨海贵; 霍同林; 周洪军
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多层膜设计 极紫外 离散化设计 宽带多层膜 |
| 改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者: 匡尚奇; 张超; 王一名; 周祥燕; 谢耀
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薄膜光学 多层膜设计 改进型量子进化算法 宽带极紫外多层膜 |
| 基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 137-144
作者: 周祥燕; 张超; 匡尚奇; 龚学鹏; 杨海贵
caj(2225Kb) | 收藏 | 浏览/下载：425/150 | 提交时间：2018/04/09
薄膜 薄膜表征 量子衍生遗传算法 掠入射x射线反射 |
| 基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 347-355
作者: 张超; 张杰瑞; 王一名; 匡尚奇; 谢耀
caj(892Kb) | 收藏 | 浏览/下载：456/168 | 提交时间：2018/04/09
薄膜 多层膜设计 量子进化算法 宽角度极紫外多层膜 |
| 量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4
作者: 梅雪峰; 匡尚奇; 谢耀
caj(1233Kb) | 收藏 | 浏览/下载：433/234 | 提交时间：2017/09/17
Euv多层膜 量子进化算法 膜系设计 |
| 极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418
作者: 王珣; 金春水; 李春; 匡尚奇
caj(1793Kb) | 收藏 | 浏览/下载：347/128 | 提交时间：2016/07/06
薄膜 极紫外保护层 直流反应磁控溅射 迟滞回线 |
| 极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305
作者: 王珣; 金春水; 匡尚奇; 喻波; 金方圆
caj(351Kb) | 收藏 | 浏览/下载：498/131 | 提交时间：2015/04/17
薄膜 极紫外光刻 碳沉积模型 迭代法 |
| 极紫外光学器件辐照污染检测技术 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 1, 页码: 79-88
作者: 王珣; 金春水; 匡尚奇; 喻波
caj(413Kb) | 收藏 | 浏览/下载：492/172 | 提交时间：2015/04/17
极紫外光刻 碳污染检测 光纤椭偏仪 |
