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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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基于粒子群算法离轴多反光学系统设计
期刊论文
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 06, 页码: 1435-1450
作者:
吴越
;
王丽萍
;
于杰
;
张旭
;
金春水
Adobe PDF(2477Kb)
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提交时间:2022/06/29
Design of off-axis multi-reflective optical system based on particle swarm optimization
期刊论文
Chinese Optics, 2021, 卷号: 14, 期号: 6, 页码: 1435-1450
作者:
Y. Wu
;
L.-P. Wang
;
J. Yu
;
X. Zhang and C.-S. Jin
Adobe PDF(2477Kb)
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浏览/下载:141/58
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提交时间:2022/06/13
压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究
学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:
李朋志
caj(10011Kb)
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提交时间:2020/08/24
光刻物镜
压电促动器
迟滞
模糊
运动控制
像差补偿
浸没式光刻投影物镜光学薄膜
期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764
作者:
毕丹丹
;
张立超
;
时光
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提交时间:2019/09/17
浸没式光刻
光学薄膜
膜系设计
环境适应性
激光辐照寿命
浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究
学位论文
硕士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
毕丹丹
caj(4243Kb)
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提交时间:2019/09/23
光学薄膜
浸没式光刻
大角度保偏膜系
浸液环境寿命
激光辐照寿命
Optical coatings for projection objective immersion lithography
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:
Bi, Dan-Dan
;
Zhang, Li-Chao
;
Shi, Guang
Adobe PDF(2727Kb)
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浏览/下载:341/133
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提交时间:2019/09/17
Optical films
Integrated circuit manufacture
Irradiation
Lithography
Optical coatings
Optical systems
Study on High Precision Magnification Measurement of Imaging Systems
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2018, 卷号: 38, 期号: 7
作者:
Dong, Guanji
;
Tang, Feng
;
Wang, Xiangzhao
;
Feng, Peng
;
Guo, Fudong
;
Peng, Changzhe
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提交时间:2019/09/17
Interferometry
CCD cameras
Diffraction
Imaging systems
Measurement
Uncertainty analysis
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:
Fang, Chao
;
Xiang, Yang
;
Qi, Keqi
Adobe PDF(403Kb)
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提交时间:2019/09/17
Aberrations
Crosstalk
Interferometry
Measurement
Photolithography
Shearing
Wave interference
Wavefronts
成像系统倍率高精度测量技术研究
期刊论文
光学学报, 2018, 期号: 07, 页码: 167-176
作者:
董冠极
;
唐锋
;
王向朝
;
冯鹏
;
郭福东
;
彭常哲
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提交时间:2019/09/17
测量
倍率
Zernike多项式
点衍射干涉法
Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者:
Dong, L.
;
Q. Cui
;
P. Li and L. Zhao
Adobe PDF(4130Kb)
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提交时间:2018/06/13