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光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者:  东立剑;  崔庆龙;  李朋志;  赵磊
caj(3959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：341/88  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光刻物镜  热像差  主动光学  像散  响应函数  
径向预紧力对反射镜重力变形的补偿作用 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 276-283
作者:  贾树强;  黄玮;  徐象如;  姚长呈
caj(1656Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：323/118  |  提交时间：2017/09/17
光学器件  表面变形  面形补偿  预紧力  有限元方法  
光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268
作者:  姚长呈;  巩岩
caj(1449Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：275/135  |  提交时间：2017/09/17
光学设计  主动光学  光刻物镜  热像差补偿  像散  
多光谱消色差成像流式细胞仪的光学系统设计 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 9, 页码: 257-266
作者:  李灿;  郭帮辉;  孙竹
caj(1715Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：443/105  |  提交时间：2017/09/17
光学设计  成像流式细胞仪  宽波段  
外掩体与物镜间距对日冕仪渐晕的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 184-189
作者:  全薇;  张正正;  张红鑫;  孙明哲;  卜和阳;  王明晔
caj(1175Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：360/131  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  渐晕  渐晕补偿  外掩式日冕仪  距离  外掩体  支撑杆  
消谱线弯曲棱镜-光栅型成像光谱仪设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 245-252
作者:  陈洪福;  巩岩;  骆聪;  彭建涛
caj(485Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：326/104  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  成像光谱仪  棱镜-光栅  谱线弯曲  体全息相位光栅  
两片式远距结构消热差红外物镜 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 250-255
作者:  张鑫;  乔彦峰;  朱明超;  何锋赟;  贾宏光
caj(389Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：271/78  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  消热差设计  红外光学系统  两片式结构  远距式结构  
光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者:  陈华;  苏东奇;  隋永新;  章明朝;  田伟;  杨怀江;  张巍
caj(263Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：427/76  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  热像差  主动补偿  光刻机  投影物镜  
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  郭本银;  喻波
caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：512/186  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  光学设计  极紫外光刻  等效工作界面  多层膜  能量守恒  
利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 228-233
作者:  赵阳;  王平;  赵磊;  刘春来;  华洋洋;  门树东
caj(356Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：338/112  |  提交时间：2015/04/17
几何光学  复杂系统装调  补偿量选择  奇异值分解  失调量向量  补偿量相关性