已选(0)清除
条数/页: 排序方式: |
| 深紫外光刻投影物镜温度特性研究 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285 作者: 姚长呈; 巩岩 caj(1486Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:330/127  |  提交时间:2017/09/17 光学制造 光刻投影物镜 温度分布模型 仿真分析 热像差 |
| 掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 3, 页码: 469-476 作者: 杨旺; 黄玮; 尚红波 caj(1563Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:264/89  |  提交时间:2017/09/17 光刻 光学设计 光刻投影物镜 畸变 勒让德多项式 公差分析 |
| 具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构 期刊论文 光电工程, 2015, 期号: 10, 页码: 43-48 作者: 赵磊; 彭海峰; 于新峰; 东立剑 caj(657Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:316/77  |  提交时间:2016/07/06 光刻投影物镜 透镜支撑结构 自重变形 热变形 |
| 电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定 期刊论文 光学精密工程, 2015, 期号: 09, 页码: 2546-2552 作者: 葛川; 张德福; 李朋志; 郭抗; 李佩玥; 杨怀江 caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:300/95  |  提交时间:2016/07/06 电容传感器 位移传感器 标定 线性度 不确定度 光刻投影物镜 |
| 光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计 期刊论文 光电工程, 2015, 期号: 06, 页码: 50-56 作者: 陈华男; 郭抗; 张玲花; 刘健; 尚红波 caj(1453Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:275/74  |  提交时间:2016/07/06 光刻投影物镜 X-y向柔性调节机构 减速机构 柔性铰链 |
| 光刻投影物镜整体式XY微调整机构设计 期刊论文 电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 7, 页码: 787-794 作者: 张德福; 孙振 caj(302Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:213/65  |  提交时间:2015/04/17 光刻投影物镜 位移缩小机构 完全解耦 波像差 |
| 基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构研究 期刊论文 仪器仪表学报, 2014, 期号: 2, 页码: 269-275 作者: 张德福; 赵磊 caj(660Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:279/66  |  提交时间:2015/04/17 光刻投影物镜 微调整机构 光机结构 波像差 |
| 光刻物镜高精度挠性结构镜框设计及分析 期刊论文 光电工程, 2013, 期号: 07, 页码: 39-43 作者: 华洋洋; 巩岩 caj(886Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:346/106  |  提交时间:2014/03/07 光学器件 光刻投影物镜 支撑结构 结构优化 有限元 |
| 支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响 期刊论文 中国光学, 2013, 期号: 01, 页码: 57-63 作者: 王平; 田伟; 王汝冬; 王立朋 caj(913Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:351/119  |  提交时间:2014/03/07 光学设计 光刻投影物镜 波前畸变 应力双折射 融石英 元件支撑 |
| 光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析 期刊论文 光电工程, 2013, 期号: 02, 页码: 71-75 作者: 彭海峰; 巩岩; 赵磊 caj(1322Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:361/85  |  提交时间:2014/03/07 光刻投影物镜 多弹片支撑结构 自重变形 面形分析 |