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光刻投影物镜整体式XY微调整机构设计 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 7, 页码: 787-794
作者:  张德福;  孙振
caj(302Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：215/65  |  提交时间：2015/04/17
光刻投影物镜  位移缩小机构  完全解耦  波像差  
基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2014, 期号: 2, 页码: 269-275
作者:  张德福;  赵磊
caj(660Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：284/69  |  提交时间：2015/04/17
光刻投影物镜  微调整机构  光机结构  波像差