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具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构 期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 10, 页码: 43-48
作者:  赵磊;  彭海峰;  于新峰;  东立剑
caj(657Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：329/78  |  提交时间：2016/07/06
光刻投影物镜  透镜支撑结构  自重变形  热变形  
光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计 期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 06, 页码: 50-56
作者:  陈华男;  郭抗;  张玲花;  刘健;  尚红波
caj(1453Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：285/78  |  提交时间：2016/07/06
光刻投影物镜  X-y向柔性调节机构  减速机构  柔性铰链  
光刻物镜高精度挠性结构镜框设计及分析 期刊论文
光电工程, 2013, 期号: 07, 页码: 39-43
作者:  华洋洋;  巩岩
caj(886Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：357/112  |  提交时间：2014/03/07
光学器件  光刻投影物镜  支撑结构  结构优化  有限元  
光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析 期刊论文
光电工程, 2013, 期号: 02, 页码: 71-75
作者:  彭海峰;  巩岩;  赵磊
caj(1322Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：378/87  |  提交时间：2014/03/07
光刻投影物镜  多弹片支撑结构  自重变形  面形分析