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掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 3, 页码: 469-476
作者:  杨旺;  黄玮;  尚红波
caj(1563Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：260/89  |  提交时间：2017/09/17
光刻  光学设计  光刻投影物镜  畸变  勒让德多项式  公差分析  
光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计 期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 06, 页码: 50-56
作者:  陈华男;  郭抗;  张玲花;  刘健;  尚红波
caj(1453Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：268/74  |  提交时间：2016/07/06
光刻投影物镜  X-y向柔性调节机构  减速机构  柔性铰链  
膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 346-353
作者:  尚红波;  刘春来;  张巍;  陈华男
caj(1604Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：265/64  |  提交时间：2016/07/06
光学制造  投影光刻物镜  膜系  偏振像差  对比度  
光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 235-239
作者:  杨旺;  黄玮;  许伟才;  尚红波
caj(1531Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：523/108  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  杂散光  功率谱密度  公差分析  光刻物镜  
高成像质量光学系统的元件旋转补偿 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 128-134
作者:  刘春来;  黄玮;  尚红波;  许伟才;  杨旺
caj(3907Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：421/91  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  高成像质量  旋转补偿  材料筛选  波前像差  
高准确度光学系统中材料非均匀性对成像质量的影响 期刊论文
光子学报, 2013, 期号: 04, 页码: 451-455
作者:  刘洋舟;  李晓彤;  岑兆丰;  许伟才;  尚红波;  阮望超
caj(868Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：462/98  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  非均匀  光线追迹  成像质量  
关于部分偏振光能量传递和偏振态的光线椭圆分析方法 期刊论文
物理学报, 2012, 期号: 13, 页码: 154-160
作者:  刘超;  岑兆丰;  李晓彤;  许伟才;  尚红波;  能芬;  陈立
caj(503Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：560/126  |  提交时间：2013/03/11
部分偏振光  大数值孔径  能量  偏振效应