Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光刻物镜高精度挠性结构镜框设计及分析 | |
华洋洋 ; 巩岩
| |
| 2013-07-15 | |
| 发表期刊 | 光电工程
 |
| 期号 | 07页码:39-43 |
| 摘要 | 光刻投影物镜的透镜支撑形式决定透镜的面形精度,进而影响光学系统的成像质量。本设计为实现透镜面形精度优于5nm的RMS值,提出一种三点挠性主支撑和六点弹片辅助支撑的支撑形式。综合考虑透镜自重、夹持力和热载荷对透镜面形影响,对支撑结构进行优化设计,并进行了仿真分析。仿真后的面形结果为:上表面面形PV21.7nm,RMS4.49nm;下表面面形PV81.3nm,RMS3.63nm。仿真结果显示:该种透镜的支撑结构可以满足光刻投影物镜的高精度面形指标要求。 |
| 关键词 | 光学器件 光刻投影物镜 支撑结构 结构优化 有限元 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38991 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 华洋洋,巩岩. 光刻物镜高精度挠性结构镜框设计及分析[J]. 光电工程,2013(07):39-43. |
| APA | 华洋洋,&巩岩.(2013).光刻物镜高精度挠性结构镜框设计及分析.光电工程(07),39-43. |
| MLA | 华洋洋,et al."光刻物镜高精度挠性结构镜框设计及分析".光电工程 .07(2013):39-43. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 光刻物镜高精度挠性结构镜框设计及分析.c（886KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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