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| 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者: 糜小涛; 于海利; 于宏柱; 齐向东; 李晓天; 万秋华
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衍射光栅 阿贝误差 衍射波前 刻线位置误差 刻划机 |
| System error modeling and analysis for GSSM of TMT 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 7
作者: Yang, F.; Q.-C. An; J. Zhang; H.-C. Zhao; P. Guo and H.-B. Jiang
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| Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者: Mi, X.; H. Yu; H. Yu; X. Qi; X. Li and Q. Wan
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| Detection and calculation of mosaic grating error based on wavefront method 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 5
作者: Lu, Y.; X. Qi; X. Mi; S. Jiang; H. Yu; X. Li and L. Yin
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| 差分五棱镜扫描法在波前检测中的应用 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 6, 页码: 1003-1011
作者: 汤兆鑫; 黄玮; 许伟才; 刘立峰; 徐象如
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波前检测 差分五棱镜扫描法 平行光管 误差分析 |
| 一种全息光栅曝光系统结构 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 639-644
作者: 撖芃芃
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全息光栅 波前质量 模态分析 稳定性 |
| 极小孔径衍射波前测试分析 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2639-2644
作者: 邵晶; 马冬梅; 张海涛; 于杰; 周烽
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光学检测 点衍射干涉仪 相位复原 衍射波前 |
| 基于单压电执行器的光栅刻线摆角修正 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2039-2046
作者: 李晓天; 齐向东; 于海利; 高键翔; 冯树龙; 巴音贺希格
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平面光栅 光栅刻线 摆角修正 衍射波前 压电执行器 |
| Yaw angle correction of grating line based on single piezoelectric actuator 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2014, 卷号: 22, 期号: 8, 页码: 2039-2046
作者: Li X.-T.; Qi X.-D.; Yu H.-L.; Gao J.-X.; Feng S.-L.; Bayanheshig
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| Investigations of high-quality aluminum film with large-area uniformity for large-size echelle grating 期刊论文
Wuli Xuebao/Acta Physica Sinica, 2014, 卷号: 63, 期号: 15
作者: Li Z.-Z.; Yang H.-G.; Wang X.-Y.; Gao J.-S.
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