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Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  M. Pan;  Y. Song and W. Li
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Design of displacement sensor for fast steering mirror with small volume on airborne platform 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 9, 页码: 1937-1944
作者:  Xu, X.;  H. Wang;  X. Han;  B. Wang and Y. Gao
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基于单压电执行器的光栅刻线摆角修正 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2039-2046
作者:  李晓天;  齐向东;  于海利;  高键翔;  冯树龙;  巴音贺希格
caj(243Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：318/71  |  提交时间：2015/04/17
平面光栅  光栅刻线  摆角修正  衍射波前  压电执行器  
Yaw angle correction of grating line based on single piezoelectric actuator 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2014, 卷号: 22, 期号: 8, 页码: 2039-2046
作者:  Li X.-T.;  Qi X.-D.;  Yu H.-L.;  Gao J.-X.;  Feng S.-L.;  Bayanheshig
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