Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种全息光栅曝光系统结构 | |
| 撖芃芃 | |
| 2014-12-15 | |
| 发表期刊 | 长春工业大学学报(自然科学版)
 |
| 期号 | 6页码:639-644 |
| 摘要 | 采用双透镜组的结构引入补偿镜,使工作波长和装调波长共像面。采用有限元分析方法对机械系统的设计结果进行模态分析,结果表明,该曝光系统具有较高的波前质量和系统稳定性。 |
| 关键词 | 全息光栅 波前质量 模态分析 稳定性 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43630 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 撖芃芃. 一种全息光栅曝光系统结构[J]. 长春工业大学学报(自然科学版),2014(6):639-644. |
| APA | 撖芃芃.(2014).一种全息光栅曝光系统结构.长春工业大学学报(自然科学版)(6),639-644. |
| MLA | 撖芃芃."一种全息光栅曝光系统结构".长春工业大学学报(自然科学版) .6(2014):639-644. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 一种全息光栅曝光系统结构.caj（420KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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