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| 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文 中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581 作者: 张德福 ; 李显凌; 芮大为 ; 李朋志 ; 东立剑 ; 张建国![](/image/person.jpg)
caj(2036Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:638/142  |  提交时间:2018/04/09 集成电路 光刻 投影物镜 波像差 调节机构 主动光学 |
| 深紫外光刻投影物镜温度特性研究 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285 作者: 姚长呈; 巩岩![](/image/person.jpg)
caj(1486Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:366/139  |  提交时间:2017/09/17 光学制造 光刻投影物镜 温度分布模型 仿真分析 热像差 |
| 掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 3, 页码: 469-476 作者: 杨旺; 黄玮 ; 尚红波![](/image/person.jpg)
caj(1563Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:280/89  |  提交时间:2017/09/17 光刻 光学设计 光刻投影物镜 畸变 勒让德多项式 公差分析 |
| 光刻投影物镜恒温水套小比例模型的设计与性能测试 期刊论文 激光与光电子学进展, 2016, 期号: 8, 页码: 146-151 作者: 彭海峰 ; 于新峰 ; 秦硕
caj(1581Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:396/121  |  提交时间:2017/09/17 测量 投影物镜 恒温水套 热像差 温度测试 |
| 长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展 期刊论文 硅酸盐通报, 2015, 期号: 12, 页码: 3556 -
caj(74Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:289/98  |  提交时间:2016/07/06 高精度控制 应用光学 光机所 遗传算法 控制精度 面形误差 国家重点实验室 分布控制 磁控溅射 投影物镜 |
| 具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构 期刊论文 光电工程, 2015, 期号: 10, 页码: 43-48 作者: 赵磊 ; 彭海峰 ; 于新峰 ; 东立剑![](/image/person.jpg)
caj(657Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:363/91  |  提交时间:2016/07/06 光刻投影物镜 透镜支撑结构 自重变形 热变形 |
| 电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定 期刊论文 光学精密工程, 2015, 期号: 09, 页码: 2546-2552 作者: 葛川 ; 张德福 ; 李朋志 ; 郭抗 ; 李佩玥 ; 杨怀江![](/image/person.jpg)
caj(532Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:334/108  |  提交时间:2016/07/06 电容传感器 位移传感器 标定 线性度 不确定度 光刻投影物镜 |
| 高数值孔径投影光刻物镜波像差的自动平衡优化 期刊论文 光学精密工程, 2015, 期号: 08, 页码: 2143-2148 作者: 徐明飞; 黄玮![](/image/person.jpg)
caj(278Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:235/66  |  提交时间:2016/07/06 投影物镜 光刻物镜 波像差 光学设计 自动优化 |
| 光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计 期刊论文 光电工程, 2015, 期号: 06, 页码: 50-56 作者: 陈华男 ; 郭抗 ; 张玲花 ; 刘健 ; 尚红波![](/image/person.jpg)
caj(1453Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:322/90  |  提交时间:2016/07/06 光刻投影物镜 X-y向柔性调节机构 减速机构 柔性铰链 |
| 光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142 作者: 陈华; 苏东奇 ; 隋永新 ; 章明朝 ; 田伟 ; 杨怀江 ; 张巍![](/image/person.jpg)
caj(263Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:437/78  |  提交时间:2015/04/17 成像系统 热像差 主动补偿 光刻机 投影物镜 |