长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展

	长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展
	2015-12-15
发表期刊	硅酸盐通报
期号	12 页码:3556
摘要	<正>近日,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室金春水研究团队在极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究方面取得新进展:通过采用遗传算法,实现了Ф200 mm曲面基底上极紫外多层膜膜厚分布控制精度优于±0.1%,镀膜引起的不可补偿面形误差小于0.1 nm RMS,相关指标达到国
关键词	高精度控制应用光学光机所遗传算法控制精度面形误差国家重点实验室分布控制磁控溅射投影物镜
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54269
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	. 长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展[J]. 硅酸盐通报,2015(12):3556.
APA	(2015).长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展.硅酸盐通报(12),3556.
MLA	"长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展".硅酸盐通报 .12(2015):3556.