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| 像场调制傅里叶变换成像光谱仪的建模与实验研究 期刊论文 光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 18, 页码: 117-124 作者: 吕金光 ; 赵百轩; 梁静秋 ; 王维彪; 秦余欣 ; 陶金
浏览  |   Adobe PDF(2963Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:311/65  |  提交时间:2021/07/06 成像系统 光谱学 成像光谱仪 像场调制 干涉成像 |
| 成像系统倍率高精度测量技术研究 期刊论文 光学学报, 2018, 期号: 07, 页码: 167-176 作者: 董冠极; 唐锋; 王向朝; 冯鹏; 郭福东; 彭常哲
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:274/0  |  提交时间:2019/09/17 测量 倍率 Zernike多项式 点衍射干涉法 |
| 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文 光学学报, 2017, 页码: 247-256 作者: 王玮; 巴音贺希格; 潘明忠; 宋莹; 李文昊
caj(798Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:342/115  |  提交时间:2018/04/09 光学设计 光栅 扫描干涉场曝光 光束对准 曝光对比度 位置解耦 角度解耦 |
| 基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 5, 页码: 22-31 作者: 卢禹先; 齐向东; 糜小涛; 姜珊; 于海利; 李晓天; 尹禄
caj(395Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:299/130  |  提交时间:2017/09/17 衍射 光栅拼接 干涉仪 衍射波前 拼接误差 |
| 基于光学相干和微弱信号检测的干涉探测技术 期刊论文 光学学报, 2016, 页码: 127-133 作者: 董磊; 王斌; 刘欣悦
caj(251Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:391/112  |  提交时间:2018/04/09 测量 相干光学 干涉探测 白光干涉 微弱信号检测 信噪比 |
| 微小型傅里叶变换光谱仪光场分析与衍射抑制 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 11, 页码: 334-341 作者: 吕金光 ; 梁静秋 ; 梁中翥 ; 秦余欣![](/image/person.jpg)
caj(314Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:412/112  |  提交时间:2017/09/17 光谱学 空间光调制器 标量衍射 干涉 |
| 光学非球面面形非零位检测的回程误差校正 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 8, 页码: 155-165 作者: 师途; 臧仲明; 刘东; 杨甬英; 种诗尧; 张磊; 白剑; 沈亦兵; 苗亮 ; 黄玮![](/image/person.jpg)
caj(441Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:450/116  |  提交时间:2017/09/17 测量 干涉 非球面检测 非零位 回程误差 校正方法 |
| 扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64 作者: 姜珊; 巴音贺希格; 潘明忠; 李文昊; 宋莹
caj(3588Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:252/104  |  提交时间:2016/07/06 光栅 扫描干涉场曝光系统 干涉条纹周期测量 相位锁定 |
| 提高平行光管分划板装调精度新方法研究 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 157-163 作者: 何煦; 吴国栋![](/image/person.jpg)
caj(455Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:336/68  |  提交时间:2015/04/17 测量 光学检测 装调与标定 猫眼干涉法 平行光管 分划板 |
| 扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62 作者: 姜珊; 巴音贺希格; 李文昊; 宋莹; 潘明忠
caj(447Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:374/109  |  提交时间:2015/04/17 光栅 扫描干涉场曝光系统 相位锁定 光栅周期 刻线误差 |