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| LED微投影系统设计与红光LED微显示阵列的制作研究 学位论文
硕士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 冯思悦
 caj(5852Kb) |  收藏 | 浏览/下载：217/0 | 提交时间：2019/09/23
投影显示系统 投影物镜 Micro-LEDs MEMS技术 |
| 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者: 张德福 ; 李显凌; 芮大为; 李朋志; 东立剑; 张建国
caj(2036Kb) | 收藏 | 浏览/下载：869/183 | 提交时间：2018/04/09
集成电路 光刻 投影物镜 波像差 调节机构 主动光学 |
| 深紫外光刻投影物镜温度特性研究 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285
作者: 姚长呈; 巩岩
 caj(1486Kb) | 收藏 | 浏览/下载：420/153 | 提交时间：2017/09/17
光学制造 光刻投影物镜 温度分布模型 仿真分析 热像差 |
| 掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 3, 页码: 469-476
作者: 杨旺; 黄玮; 尚红波
caj(1563Kb) | 收藏 | 浏览/下载：336/106 | 提交时间：2017/09/17
光刻 光学设计 光刻投影物镜 畸变 勒让德多项式 公差分析 |
| 光刻投影物镜恒温水套小比例模型的设计与性能测试 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 8, 页码: 146-151
作者: 彭海峰; 于新峰; 秦硕
caj(1581Kb) | 收藏 | 浏览/下载：481/143 | 提交时间：2017/09/17
测量 投影物镜 恒温水套 热像差 温度测试 |
| 长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展 期刊论文
硅酸盐通报, 2015, 期号: 12, 页码: 3556
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caj(74Kb) | 收藏 | 浏览/下载：397/163 | 提交时间：2016/07/06
高精度控制 应用光学 光机所 遗传算法 控制精度 面形误差 国家重点实验室 分布控制 磁控溅射 投影物镜 |
| 具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构 期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 10, 页码: 43-48
作者: 赵磊; 彭海峰; 于新峰; 东立剑
caj(657Kb) | 收藏 | 浏览/下载：437/120 | 提交时间：2016/07/06
光刻投影物镜 透镜支撑结构 自重变形 热变形 |
| 电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 09, 页码: 2546-2552
作者: 葛川; 张德福; 李朋志; 郭抗; 李佩玥; 杨怀江
caj(532Kb) | 收藏 | 浏览/下载：416/143 | 提交时间：2016/07/06
电容传感器 位移传感器 标定 线性度 不确定度 光刻投影物镜 |
| 高数值孔径投影光刻物镜波像差的自动平衡优化 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 08, 页码: 2143-2148
作者: 徐明飞; 黄玮
caj(278Kb) | 收藏 | 浏览/下载：288/89 | 提交时间：2016/07/06
投影物镜 光刻物镜 波像差 光学设计 自动优化 |
| 光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计 期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 06, 页码: 50-56
作者: 陈华男; 郭抗; 张玲花; 刘健; 尚红波
caj(1453Kb) | 收藏 | 浏览/下载：380/113 | 提交时间：2016/07/06
光刻投影物镜 X-y向柔性调节机构 减速机构 柔性铰链 |
