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193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑;  张建国
caj(2036Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：638/142  |  提交时间：2018/04/09
集成电路  光刻  投影物镜  波像差  调节机构  主动光学  
深紫外光刻投影物镜温度特性研究 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285
作者:  姚长呈;  巩岩
caj(1486Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：366/139  |  提交时间：2017/09/17
光学制造  光刻投影物镜  温度分布模型  仿真分析  热像差  
掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 3, 页码: 469-476
作者:  杨旺;  黄玮;  尚红波
caj(1563Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：280/89  |  提交时间：2017/09/17
光刻  光学设计  光刻投影物镜  畸变  勒让德多项式  公差分析  
光刻投影物镜恒温水套小比例模型的设计与性能测试 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 8, 页码: 146-151
作者:  彭海峰;  于新峰;  秦硕
caj(1581Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：396/121  |  提交时间：2017/09/17
测量  投影物镜  恒温水套  热像差  温度测试  
光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者:  陈华;  苏东奇;  隋永新;  章明朝;  田伟;  杨怀江;  张巍
caj(263Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：437/78  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  热像差  主动补偿  光刻机  投影物镜  
光刻投影物镜整体式XY微调整机构设计 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 7, 页码: 787-794
作者:  张德福;  孙振
caj(302Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：217/66  |  提交时间：2015/04/17
光刻投影物镜  位移缩小机构  完全解耦  波像差  
调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 291-298
作者:  张德福;  李显凌
caj(743Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：509/97  |  提交时间：2015/04/17
光学器件  深紫外光刻  投影物镜  像差补偿  偏心调节机构  调节力  面形  
基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2014, 期号: 2, 页码: 269-275
作者:  张德福;  赵磊
caj(660Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：315/79  |  提交时间：2015/04/17
光刻投影物镜  微调整机构  光机结构  波像差  
基于运动学支撑的透镜光学表面面形及其复现性 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2000-2007
作者:  于新峰;  巩岩;  倪明阳;  秦硕
caj(621Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：448/182  |  提交时间：2014/03/07
投影物镜  运动学支撑结构  光学表面面形  夹持力  复现性  有限元法  Zernike多项式  
光刻物镜高精度挠性结构镜框设计及分析 期刊论文
光电工程, 2013, 期号: 07, 页码: 39-43
作者:  华洋洋;  巩岩
caj(886Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：423/128  |  提交时间：2014/03/07
光学器件  光刻投影物镜  支撑结构  结构优化  有限元