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| Research progress of single molecule biological detection methods and applications 期刊论文
Chinese Optics, 2022, 卷号: 15, 期号: 5, 页码: 878-894
作者: W.-C. Zhou; Z.-H. Li and J. Wu
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| Optimization of Circular-axis Flexure Hinge by Considering Material Selection and Geometrical Configuration Simultaneously 期刊论文
Jixie Gongcheng Xuebao/Journal of Mechanical Engineering, 2017, 卷号: 53, 期号: 9
作者: Cao, Y.; Z. Wang; C. Zhou and W. Wang
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| Compensation effect of radial preload on mirror deformation caused by gravity 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 4
作者: Jia, S.; W. Huang; X. Xu and C. Yao
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| Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4
作者: Yu, B. ; C. Li; C. Jin and C. Wang
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| 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者: 王辉; 周烽; 喻波; 谢耀; 于杰; 刘钰; 王丽萍
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测量 光刻技术 有限元分析 高复现性支撑装置 薄膜均匀性测量 |
| Measurement of thickness uniformity of optic multilayer based on surface figure measurement 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 7
作者: Wang, H.; F. Zhou; B. Yu; Y. Xie; J. Yu; Y. Liu and L. Wang
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| 光学精密透镜的光力学耦合分析与优化设计 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 刘永明
 Adobe PDF(2728Kb) | 收藏 | 浏览/下载：369/1 | 提交时间：2014/08/21 |
| 高精度曲率半径测量研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2014, 期号: 1, 页码: 105-111
作者: 彭石军; 苗二龙; 史振广; 陈华; 隋永新; 杨怀江
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测量 曲率半径 轴向对准误差 环境补偿 菲佐干涉仪 |
| 基于运动学支撑的透镜光学表面面形及其复现性 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2000-2007
作者: 于新峰; 巩岩; 倪明阳; 秦硕
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投影物镜 运动学支撑结构 光学表面面形 夹持力 复现性 有限元法 Zernike多项式 |
| 高复现性面形检测支撑装置研制 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 136-140
作者: 王辉; 于杰; 周烽; 王丽萍
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测量 极紫外光刻 高重复性干涉仪 有限元分析 检测支撑 |
