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像场调制傅里叶变换成像光谱仪的建模与实验研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 18, 页码: 117-124
作者:  吕金光;  赵百轩;  梁静秋;  王维彪;  秦余欣;  陶金
浏览  |  Adobe PDF(2963Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：311/65  |  提交时间：2021/07/06
成像系统  光谱学  成像光谱仪  像场调制  干涉成像  
成像系统倍率高精度测量技术研究 期刊论文
光学学报, 2018, 期号: 07, 页码: 167-176
作者:  董冠极;  唐锋;  王向朝;  冯鹏;  郭福东;  彭常哲
收藏  |  浏览/下载：274/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  倍率  Zernike多项式  点衍射干涉法  
扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊
caj(798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：341/115  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光栅  扫描干涉场曝光  光束对准  曝光对比度  位置解耦  角度解耦  
基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 5, 页码: 22-31
作者:  卢禹先;  齐向东;  糜小涛;  姜珊;  于海利;  李晓天;  尹禄
caj(395Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：299/130  |  提交时间：2017/09/17
衍射  光栅拼接  干涉仪  衍射波前  拼接误差  
基于光学相干和微弱信号检测的干涉探测技术 期刊论文
光学学报, 2016, 页码: 127-133
作者:  董磊;  王斌;  刘欣悦
caj(251Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：391/112  |  提交时间：2018/04/09
测量  相干光学  干涉探测  白光干涉  微弱信号检测  信噪比  
微小型傅里叶变换光谱仪光场分析与衍射抑制 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 11, 页码: 334-341
作者:  吕金光;  梁静秋;  梁中翥;  秦余欣
caj(314Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：412/112  |  提交时间：2017/09/17
光谱学  空间光调制器  标量衍射  干涉  
光学非球面面形非零位检测的回程误差校正 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 8, 页码: 155-165
作者:  师途;  臧仲明;  刘东;  杨甬英;  种诗尧;  张磊;  白剑;  沈亦兵;  苗亮;  黄玮
caj(441Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：450/116  |  提交时间：2017/09/17
测量  干涉  非球面检测  非零位  回程误差  校正方法  
扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  潘明忠;  李文昊;  宋莹
caj(3588Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：252/104  |  提交时间：2016/07/06
光栅  扫描干涉场曝光系统  干涉条纹周期测量  相位锁定  
提高平行光管分划板装调精度新方法研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 157-163
作者:  何煦;  吴国栋
caj(455Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：336/68  |  提交时间：2015/04/17
测量  光学检测  装调与标定  猫眼干涉法  平行光管  分划板  
扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  李文昊;  宋莹;  潘明忠
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：374/109  |  提交时间：2015/04/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差