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| 抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者: 方超 ; 向阳; 齐克奇
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测量 光栅 相位 干涉 串扰 重复精度 |
| 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者: 张璐; 向阳
收藏 | 浏览/下载：225/0 | 提交时间：2019/09/17
测量 光刻镜头 绝对检测 光栅横向剪切干涉仪 系统波像差 |
| 移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 233-240
作者: 宋莹; 赵旭龙; 姜岩秀; 巴音贺希格; 齐向东
 caj(373Kb) | 收藏 | 浏览/下载：452/135 | 提交时间：2018/04/09
全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹 |
| 扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者: 王玮; 姜珊; 宋莹; 巴音贺希格
caj(4189Kb) | 收藏 | 浏览/下载：404/162 | 提交时间：2018/04/09
光栅 扫描干涉场曝光系统 高斯光束 光斑尺寸 光路设计 |
| 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者: 刘兆武; 李文昊; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 李晓天; 吕强
caj(310Kb) | 收藏 | 浏览/下载：301/76 | 提交时间：2018/04/09
测量 光检测技术 二维工作台 测量镜面形 光栅 激光干涉仪 |
| 扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183
作者: 王玮; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 潘明忠
caj(1764Kb) | 收藏 | 浏览/下载：306/112 | 提交时间：2017/09/17
光栅 扫描干涉场曝光系统 光束对准 收敛性能 装调误差 |
| 猫眼法绝对测量干涉仪出射波前 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 12, 页码: 201-206
作者: 苏东奇; 苗二龙; 曲艺; 隋永新
caj(3041Kb) | 收藏 | 浏览/下载：393/124 | 提交时间：2016/07/06
测量 光学检测 猫眼 菲索干涉仪 波前 |
| 大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者: 宋楠; 冯树龙; 于海利; 齐向东; 巴音贺希格; 唐玉国
caj(1313Kb) | 收藏 | 浏览/下载：364/161 | 提交时间：2016/07/06
光栅 衍射光栅 光栅刻划机 气浮导轨 双频激光干涉仪 刀架系统 |
| 大功率VCSEL器件的空间相干性的研究（英文） 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 12, 页码: 39-44
作者: 贾鹏; 秦莉; 崔锦江; 李秀山; 陈泳屹; 张建伟; 张建; 张星; 宁永强
caj(462Kb) | 收藏 | 浏览/下载：576/151 | 提交时间：2015/04/17
相干光学 相干特性 双缝干涉 垂直腔面发射半导体激光器 空间相干度 |
| 十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
作者: 方超; 向阳
caj(603Kb) | 收藏 | 浏览/下载：380/92 | 提交时间：2015/04/17
测量 横向剪切干涉仪 相移算法 相位复原 |
