Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 猫眼法绝对测量干涉仪出射波前 | |
苏东奇 ; 苗二龙; 曲艺; 隋永新
| |
| 2015-12-10 | |
| 发表期刊 | 中国激光
 |
| 期号 | 12页码:201-206 |
| 摘要 | 由于非共光路误差是菲索干涉仪进行高精度检测中最重要的误差因素之一,而非共光路误差是由于非理想的光学系统即干涉仪的出射波前不理想造成的,所以为了测量干涉仪的出射波前来评估干涉仪非共光路误差的大小,提出一种利用干涉仪猫眼位置绝对测量干涉仪出射波前的方法。该方法基于干涉仪自身的面形测量功能,操作非常简单,只需要一块反射镜就能够实现干涉仪出射波前的测量。该方法通过至少三个猫眼位置的测量得到干涉仪出射波前的自身剪切数据,然后通过基于旋转平移的绝对检测算法直接得到干涉仪的出射波前的二维波前数据。实验结果表明:该方面能够实现不包括Power在内均方根(RMS)值约为15 nm的测量精度。该方法能够准确测量干涉仪出射波前,从而评估干涉仪非共光路误差。 |
| 关键词 | 测量 光学检测 猫眼 菲索干涉仪 波前 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54011 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 苏东奇,苗二龙,曲艺,等. 猫眼法绝对测量干涉仪出射波前[J]. 中国激光,2015(12):201-206. |
| APA | 苏东奇,苗二龙,曲艺,&隋永新.(2015).猫眼法绝对测量干涉仪出射波前.中国激光(12),201-206. |
| MLA | 苏东奇,et al."猫眼法绝对测量干涉仪出射波前".中国激光 .12(2015):201-206. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 猫眼法绝对测量干涉仪出射波前.caj（3041KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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