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基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 347-355
作者:  张超;  张杰瑞;  王一名;  匡尚奇;  谢耀
caj(892Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：398/137  |  提交时间：2018/04/09
薄膜  多层膜设计  量子进化算法  宽角度极紫外多层膜  
极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143
作者:  王君;  王丽萍;  金春水;  苗亮;  谢耀
caj(1576Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：353/105  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  极紫外光刻  可视化界面  初始结构  
阵列型紫外LED匀光照明系统设计 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 194-200
作者:  郝剑;  荆雷;  王尧;  卢振武;  孙强
caj(1514Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：410/155  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  紫外曝光  匀光照明  阵列  
极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418
作者:  王珣;  金春水;  李春;  匡尚奇
caj(1793Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：297/115  |  提交时间：2016/07/06
薄膜  极紫外保护层  直流反应磁控溅射  迟滞回线  
极紫外波段平面变栅距全息光栅的优化设计 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 45-55
作者:  姜岩秀;  巴音贺希格;  杨硕;  赵旭龙;  李文昊;  吴娜
caj(1349Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：367/122  |  提交时间：2016/07/06
光栅  变栅距全息光栅  刻线密度  改进的局部结合优化算法  分辨率  
光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142
作者:  代晓珂;  金春水;  王丽萍;  于杰
caj(1171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：380/116  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  极紫外光刻  光纤点衍射  球面参考源  偏振控制  
星载遥感仪器太阳漫透射板紫外辐照特性 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 164-168
作者:  李博
caj(317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：255/96  |  提交时间：2015/04/17
紫外遥感  太阳漫透射板  紫外辐照  半球透射率  
多方位/多波段地球临边紫外成像仪辐射特性研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 42261
作者:  杨小虎;  王淑荣;  黄煜
caj(573Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：336/100  |  提交时间：2015/04/17
遥感  临边紫外成像仪  辐射特性  辐射定标  分割视场  不确定度  
远紫外光子计数成像探测器分辨率及计数率的优化 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 48-54
作者:  尼启良
caj(719Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：338/103  |  提交时间：2015/04/17
探测器  远紫外  微通道板  光子计数成像探测器  感应电荷楔条形位置灵敏阳极  
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  郭本银;  喻波
caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：512/186  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  光学设计  极紫外光刻  等效工作界面  多层膜  能量守恒