Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 阵列型紫外LED匀光照明系统设计 | |
郝剑; 荆雷; 王尧 ; 卢振武; 孙强
| |
| 2015-10-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 10页码:194-200 |
| 摘要 | 为实现曝光系统均匀照明的目标,基于非成像光学,提出了一种阵列型模组的匀光照明系统优化设计方法。该方法首先通过对单模组的光学设计,实现半发散角度和阵列间距的初步计算,然后通过Trace Pro软件的Scheme宏语言和优化引擎相结合,实现对模组阵列间距的进一步优化,从而实现对整个光学系统的均匀照明设计。光源采用日亚紫外LED STS-DA1-2394E,阵列模组个数为5,阵列纵向间距为28 mm,横向间距为24 mm。该光学系统通过Trace Pro软件模拟仿真和实验结果表明:在距光源300 mm的距离处,可实现目标面积上的均匀照明,其非均匀性均小于5%,准直角度约为4°。 |
| 关键词 | 光学设计 紫外曝光 匀光照明 阵列 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54281 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郝剑,荆雷,王尧,等. 阵列型紫外LED匀光照明系统设计[J]. 光学学报,2015(10):194-200. |
| APA | 郝剑,荆雷,王尧,卢振武,&孙强.(2015).阵列型紫外LED匀光照明系统设计.光学学报(10),194-200. |
| MLA | 郝剑,et al."阵列型紫外LED匀光照明系统设计".光学学报 .10(2015):194-200. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 阵列型紫外LED匀光照明系统设计.caj（1514KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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