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| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 赵磊
 caj(8435Kb) |  收藏 | 浏览/下载：164/0 | 提交时间：2020/08/24
投影光刻物镜 像质补偿技术 柔顺微动机构 主动变形镜 |
| 投影光刻物镜偏振像差研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 周泽龙
caj(5354Kb) | 收藏 | 浏览/下载：207/0 | 提交时间：2019/09/23
投影光刻物镜 偏振像差 琼斯矩阵 穆勒矩阵 |
| 全频段亚纳米精度氟化钙材料加工 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2636-2643
作者: 张春雷; 徐乐; 刘健; 马占龙; 王飞; 谷永强; 代雷; 彭石军
 caj(596Kb) | 收藏 | 浏览/下载：370/116 | 提交时间：2017/09/17
氟化钙 投影光刻物镜 精密光学加工 亚纳米精度加工 离子束修形(Ibf) |
| 用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 9, 页码: 70-77
作者: 高松涛; 武东城; 于长淞
caj(3281Kb) | 收藏 | 浏览/下载：365/101 | 提交时间：2017/09/17
测量 计算全息图 非球面 投影光刻物镜 衍射鬼像 干涉仪 |
| 精密光学系统的热像差 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 11, 页码: 3033-3040
作者: 张巍; 于新峰; 周连生; 王学亮; 倪明阳; 彭海峰
caj(299Kb) | 收藏 | 浏览/下载：278/130 | 提交时间：2016/07/06
精密光学系统 激光辐照 投影光刻物镜 热像差 |
| 同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 111-118
作者: 徐象如; 黄玮; 贾树强; 徐明飞
caj(1710Kb) | 收藏 | 浏览/下载：281/84 | 提交时间：2016/07/06
成像系统 投影光刻物镜 热像差 元件位移 分区加热 |
| 膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 346-353
作者: 尚红波; 刘春来; 张巍; 陈华男
caj(1604Kb) | 收藏 | 浏览/下载：269/64 | 提交时间：2016/07/06
光学制造 投影光刻物镜 膜系 偏振像差 对比度 |
| 投影光刻物镜的计算机辅助装调 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 6, 页码: 206-211
作者: 赵菲菲; 唐剑宇; 黄玮; 许伟才
caj(292Kb) | 收藏 | 浏览/下载：273/95 | 提交时间：2015/04/17
光学设计 计算机辅助装调 投影光刻物镜 奇异值分解 畸变 |
| 光学材料均匀性对光学系统像质影响研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 杨添星
Adobe PDF(11650Kb) | 收藏 | 浏览/下载：344/3 | 提交时间：2014/03/15
均匀性 投影光刻物镜 光线追迹 光学设计 |
| S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 赵菲菲
Adobe PDF(2200Kb) | 收藏 | 浏览/下载：407/1 | 提交时间：2014/03/15
计算机辅助装调 S-h波前传感器 投影光刻物镜 质心探测精度 阈值选取 |
