Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光学材料均匀性对光学系统像质影响研究 | |
| 杨添星 | |
| 学位类型 | 硕士 |
| 导师 | 黄玮 |
| 2013-11-28 | |
| 学位授予单位 | 中国科学院大学 |
| 学位专业 | 光学 |
| 关键词 | 均匀性 投影光刻物镜 光线追迹 光学设计 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 学位论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/39560 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨添星. 光学材料均匀性对光学系统像质影响研究[D]. 中国科学院大学,2013. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 杨添星.pdf（11650KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 请求全文 | |||
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