Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 投影光刻物镜的计算机辅助装调 | |
赵菲菲; 唐剑宇; 黄玮 ; 许伟才
| |
| 2014-06-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 6页码:206-211 |
| 摘要 | 针对投影光刻物镜苛刻的像质要求,将计算机辅助装调(CAA)技术引入投影光刻物镜的装调过程中,建立了相应的数学模型。选取33个视场Fringe Zernike多项式的4~37项,以及畸变作为校正对象,并选取19个结构参量作为补偿器。通过将CODE V的宏功能和Matlab结合,采集灵敏度矩阵和像质数据。提出用奇异值分解求加权最小二乘解的方法计算补偿量,通过权重因子实现对不同视场上不同Zernike项系数或畸变的改进。将补偿后光刻物镜的性能和理想光刻物镜对比,发现相比于设计镜头,装调后镜头的平均波前均方根(RMS)大约差0.004λ,平均畸变大约差1nm,该方法可以将系统波像差和畸变恢复到接近设计水平。 |
| 文章类型 | 期刊 |
| 关键词 | 光学设计 计算机辅助装调 投影光刻物镜 奇异值分解 畸变 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42839 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵菲菲,唐剑宇,黄玮,等. 投影光刻物镜的计算机辅助装调[J]. 光学学报,2014(6):206-211. |
| APA | 赵菲菲,唐剑宇,黄玮,&许伟才.(2014).投影光刻物镜的计算机辅助装调.光学学报(6),206-211. |
| MLA | 赵菲菲,et al."投影光刻物镜的计算机辅助装调".光学学报 .6(2014):206-211. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 投影光刻物镜的计算机辅助装调.caj（292KB） | 开放获取 | ODC PDDL | 浏览 请求全文 | |||
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