CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究
赵菲菲
学位类型硕士
导师黄玮
2013-11-28
学位授予单位中国科学院大学
学位专业光学
关键词计算机辅助装调 S-h波前传感器 投影光刻物镜 质心探测精度 阈值选取
语种中文
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/39575
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
赵菲菲. S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究[D]. 中国科学院大学,2013.
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