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| 压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 李朋志
 caj(10011Kb) |  收藏 | 浏览/下载：151/0 | 提交时间：2020/08/24
光刻物镜 压电促动器 迟滞 模糊 运动控制 像差补偿 |
| 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者: 张德福; 李显凌; 芮大为; 李朋志; 东立剑; 张建国
 caj(2036Kb) | 收藏 | 浏览/下载：534/129 | 提交时间：2018/04/09
集成电路 光刻 投影物镜 波像差 调节机构 主动光学 |
| 光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者: 东立剑; 崔庆龙; 李朋志; 赵磊
caj(3959Kb) | 收藏 | 浏览/下载：333/88 | 提交时间：2018/04/09
光学设计 光刻物镜 热像差 主动光学 像散 响应函数 |
| 高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2016, 期号: 8, 页码: 1275-1281
作者: 尹志生; 李友如; 李佩玥; 郭抗; 李朋志
caj(904Kb) | 收藏 | 浏览/下载：298/126 | 提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪 六自由度位姿检测 误差补偿 齐次变换 |
| 压电陶瓷定位系统电容传感器容错控制 期刊论文
现代电子技术, 2014, 期号: 21, 页码: 152-155
作者: 郭嘉亮; 李朋志; 李佩玥
caj(1664Kb) | 收藏 | 浏览/下载：361/132 | 提交时间：2015/04/17
压电陶瓷 电容传感器 扩展卡尔曼滤波(Ekf) 容错控制 |
| 工件偏心检测系统的设计与实现 期刊论文
电子测量技术, 2014, 期号: 3, 页码: 97-101+124
作者: 徐立松; 尹志生; 刘春来; 李朋志; 李佩玥
caj(816Kb) | 收藏 | 浏览/下载：252/91 | 提交时间：2015/04/17
偏心检测 最小二乘法 Mfc 椭圆拟合 |
| 压电驱动器的开闭环迭代学习控制 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 2, 页码: 414-419
作者: 李朋志; 闫丰; 葛川; 李佩玥; 隋永新; 杨怀江
caj(836Kb) | 收藏 | 浏览/下载：356/115 | 提交时间：2015/04/17
压电驱动器 Pzt 开闭环 迭代学习控制 迟滞 |
| 基于ARM的高分辨率压电陶瓷驱动电源 期刊论文
现代电子技术, 2013, 期号: 14, 页码: 166-170
作者: 葛川; 李朋志; 章明朝; 闫丰
caj(3845Kb) | 收藏 | 浏览/下载：372/94 | 提交时间：2014/03/07
Arm 压电陶瓷 驱动电源 Pi控制器 |
| 基于动态模糊系统模型的压电陶瓷驱动器控制 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 02, 页码: 394-399
作者: 李朋志; 葛川; 苏志德; 闫丰; 隋永新; 杨怀江
caj(1254Kb) | 收藏 | 浏览/下载：345/97 | 提交时间：2014/03/07
压电陶瓷驱动器(Pzt) 迟滞 动态模糊系统 前馈 轨迹跟踪 |
