Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
压电陶瓷定位系统电容传感器容错控制 | |
郭嘉亮; 李朋志; 李佩玥 | |
2014-11-01 | |
发表期刊 | 现代电子技术 |
期号 | 21页码:152-155 |
摘要 | 针对压电陶瓷定位系统中电容传感器故障对定位精度的影响,对使用扩展卡尔曼滤波(EKF)进行容错控制的方法进行了研究。以传感器采样电路故障和掉电故障为对象,对三阶轨迹规划算法下电容传感器的EKF滤波公式进行了分析,提出以离散化迭代计算的EKF代替传统的将非线性系统线性化的方法。在压电陶瓷定位系统实验平台上,使用激光干涉仪作为测量基准,在传感器采样电路故障和掉电故障的情况下,实现了500μm行程,绝对精度小于3.5μm,误差小于0.7%的定位控制。结果表明,基于EKF的电容传感器容错控制可以有效减小传感器故障引起的控制误差,增加压电陶瓷定位系统的鲁棒性。 |
关键词 | 压电陶瓷 电容传感器 扩展卡尔曼滤波(Ekf) 容错控制 |
语种 | 中文 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43528 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭嘉亮,李朋志,李佩玥. 压电陶瓷定位系统电容传感器容错控制[J]. 现代电子技术,2014(21):152-155. |
APA | 郭嘉亮,李朋志,&李佩玥.(2014).压电陶瓷定位系统电容传感器容错控制.现代电子技术(21),152-155. |
MLA | 郭嘉亮,et al."压电陶瓷定位系统电容传感器容错控制".现代电子技术 .21(2014):152-155. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
压电陶瓷定位系统电容传感器容错控制.ca(1664KB) | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 |
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