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压电陶瓷定位系统电容传感器容错控制
郭嘉亮; 李朋志; 李佩玥
2014-11-01
发表期刊现代电子技术
期号21页码:152-155
摘要针对压电陶瓷定位系统中电容传感器故障对定位精度的影响,对使用扩展卡尔曼滤波(EKF)进行容错控制的方法进行了研究。以传感器采样电路故障和掉电故障为对象,对三阶轨迹规划算法下电容传感器的EKF滤波公式进行了分析,提出以离散化迭代计算的EKF代替传统的将非线性系统线性化的方法。在压电陶瓷定位系统实验平台上,使用激光干涉仪作为测量基准,在传感器采样电路故障和掉电故障的情况下,实现了500μm行程,绝对精度小于3.5μm,误差小于0.7%的定位控制。结果表明,基于EKF的电容传感器容错控制可以有效减小传感器故障引起的控制误差,增加压电陶瓷定位系统的鲁棒性。
关键词压电陶瓷 电容传感器 扩展卡尔曼滤波(Ekf) 容错控制
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43528
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
郭嘉亮,李朋志,李佩玥. 压电陶瓷定位系统电容传感器容错控制[J]. 现代电子技术,2014(21):152-155.
APA 郭嘉亮,李朋志,&李佩玥.(2014).压电陶瓷定位系统电容传感器容错控制.现代电子技术(21),152-155.
MLA 郭嘉亮,et al."压电陶瓷定位系统电容传感器容错控制".现代电子技术 .21(2014):152-155.
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