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光学元件表面缺陷对高斯光束的调制作用研究 期刊论文
, 2016
作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹
收藏  |  浏览/下载：198/0  |  提交时间：2017/09/17
高斯光束  振幅调制  相位调制  角谱  
基于线阵图像传感器的高分辨力单圈绝对式编码方法 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 11, 页码: 111-117
作者:  杜颖财;  宋路;  万秋华;  于海
caj(194Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：280/95  |  提交时间：2017/09/17
测量  高分辨力  编码方式  图像识别  码盘  
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹;  潘明忠;  巴音贺希格
caj(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：333/91  |  提交时间：2017/09/17
激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测  
干涉条纹相位变化对平面全息光栅曝光的影响 期刊论文
激光技术, 2016, 期号: 3, 页码: 339-343
作者:  宋莹
caj(261Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：250/64  |  提交时间：2017/09/17
光栅  光栅曝光  数值计算  条纹相位变化  曝光对比度  掩模槽形  
光电测量设备图像高频频谱对主观评价的影响 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 109-115
作者:  张宁;  沈湘衡;  叶露;  宋莹
caj(1597Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：340/96  |  提交时间：2017/09/17
成像系统  光电测量设备  高频频谱  调制传递函数  低通滤波器  主观评价  
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  李晓天;  吕强
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：279/74  |  提交时间：2018/04/09
测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪  
基于快速图像识别的单圈绝对式编码器译码方法 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 11
作者:  杜颖财;  宋路;  万秋华;  于海
收藏  |  浏览/下载：216/0  |  提交时间：2017/09/17
高分辨力  编码方式  图像识别  码盘  
扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183
作者:  王玮;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  潘明忠
caj(1764Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：272/96  |  提交时间：2017/09/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  光束对准  收敛性能  装调误差